干涉式三维表面形貌测量仪校准规范（征求意见稿）.pdf

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干涉式三维表面形貌测量仪校准规范

1范围

本规范适用于干涉式三维表面形貌测量仪的校准，其它基于干涉原理的显微

镜校准也可参照本规范。

2引用文件

本规范引用下列文件。

JJG77干涉显微镜检定规程

GB/T19067.1GPS

产品几何技术规范（）表面结构轮廓法测量标准第一部

分：实物测量标准

ISO25178-604:2013(GPS):604

产品几何量技术规范表面结构区域法—第部

()GeometricalProductSpecifications

分：非接触式相干扫描干涉法仪器的标称特性（

(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part604:Nominalcharacteristicsofnon-contact

(coherencescanninginterferometry)instruments）

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引

用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。

3概述

干涉式三维表面形貌测量仪基于双光束干涉的原理，经样品表面反射回的参

考光与测量光形成干涉条纹，并经由CCD采集，经过算法重构获得表面形貌，

在垂直方向上可以达到亚纳米级的分辨力，其结构示意图见图1。

1—高速CCD；2—成像透镜；3—分光镜；4—物镜；5—参考镜；6—分光镜；7—水平位移

机构（样品台）；8—二维倾斜调整机构；9—复合光源；10—准直透镜；11—计算机（画线）

图1干涉式三维表面形貌测量仪结构示意图（光路走向）

1

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4计量特性

4.1垂直方向长度测量误差

4.2垂直方向长度测量重复性

4.3水平方向长度测量误差

4.4水平方向长度测量重复性

4.5水平方向正交误差

4.6测量噪声

4.7残余平面度

5校准条件

5.1环境条件

5.1.120±10.5/h

温度：（）℃，温度变化量：℃。

5.1.265%

相对湿度：≤。

5.1.3校准用标准器与被校仪器等温时间不少于0.5h。

5.1.4实验室内应无影响校准结果的振动、电磁辐射等因素。

5.2校准项目和校准用标准器

1

干涉式三维表面形貌测量仪校准项目和校准用标准器见表。

表1干涉式三维表面形貌测量仪校准项目和校准用标准器

序号校准项目物镜倍率M标准器技术要求

垂直方向长度

1台阶高度/沟槽深度

测量误差

/标准台阶/凹槽（20~10000）nm

垂直方向长度

U≤1%,k2

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