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2024-02-29 发布于四川
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本申请提供一种半导体工艺设备及其检测装置，检测装置应用于半导体工艺设备，包括取样管路、冷却机构、取样机构以及检测仪，其中，取样管路用于连接半导体工艺设备的药液循环系统，以从药液循环系统的循环管路引出药液；冷却机构设置于取样管路中，用于冷却药液；取样机构，与取样管路相连，用于检测冷却后的药液以生成检测信号，并将检测信号传输给检测仪；检测仪用于根据检测信号解析药液的参数。检测装置在通过取样机构在取样管路中检测药液，并生成检测信号，再将检测信号传输给检测仪，通过检测仪解析药液的参数。不需要再将药液输送

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220542599U

(45)授权公告日2024.02.27

(21)申请号202320977339.1

(22)申请日2023.04.26

(73)专利权人北京北方华创微电子装备有限公

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