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半导体存储器装置以及制造该半导体存储器装置的方法.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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半导体存储器装置以及制造该半导体存储器装置的方法.pdf

    本文提供一种半导体存储器装置以及制造该半导体存储器装置的方法。半导体存储器装置包括：第一虚设堆叠体和第二虚设堆叠体，第一虚设堆叠体和第二虚设堆叠体形成在包括单元阵列区域和连接区域的基板的连接区域中；单元堆叠体，其设置在单元阵列区域和连接区域中，并且被配置为围绕第一虚设堆叠体和第二虚设堆叠体；以及第一垂直屏障和第二垂直屏障，第一垂直屏障设置在单元堆叠体与第一虚设堆叠体之间的边界处，并且第二垂直屏障设置在单元堆叠体与第二虚设堆叠体之间的边界处。单元堆叠体包括被设置为在连接区域中以大致线性的形状延伸的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117641927A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202310422723.XH01L21/768(2006.01)

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