真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵 征求意见稿.docx

GB/T40344.4—××××/ISO21360-4:2018

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真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵

1范围

本文件连同ISO21360-1描述了涡轮分子泵的性能测量方法。它适用于所有规格和型式的涡轮分子泵。包括：

—带机械轴承或磁轴承的涡轮分子泵；

—带或不带附加牵引级的或其它转子抽气级的涡轮分子泵；

—带一个或多个进气口的涡轮分子泵。

由于涡轮分子泵有前级泵支持，体积流率-入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能。同时，涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数。

下列内容用以补充确定其性能参数：

—涡轮分子泵的流量和前级压力；

—压缩比曲线（涡轮分子泵的压缩比-前级压力）

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

ISO21360-1:2012真空技术真空泵性能测量标准方法第1部分：总体要求(Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part1:Generaldescription)

注：GB/T40344.1-2021真空技术真空泵性能测量标准方法第1部分：总体要求（ISO21360-1:2020，IDT）

3术语和定义

ISO21360-1中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

临界前级压力criticalbackingpressure

pc

当涡轮分子泵仍具有p3/p110的压缩比，且清洁气流不流通时，涡轮分子泵和驱动装置能够连续运行而不发生损坏或过载的状态下，出气口处的最大前级压力（p3）。

注1：p1是涡轮分子泵入口处的（高）真空压力。在此工作压力下，能够降低涡轮分子泵转速。pc的值取决于转速和气体类型，因此这二者均要随pc同时注明。

注2：带有清洁气流的测量会导致不同的结果[在进气口抽除轻质气体时，使用重质清洁气体会影响临界前级压力

（pc）的性能。]。因此，清洁气流的流量要为零。

3.2

最大流量maximumthroughput

Qmax

涡轮分子泵能连续抽气而不发生损伤或毁坏的最高气体负荷。

注1：单位为帕升每秒（Pa·L/s），毫巴升每秒（mbar·L/s）或标准立方厘米每分钟（sccm）。

注2：这个极限参数取决于涡轮分子泵的设计。大多数情况下，这个参数以涡轮分子泵规定位置的最高温度来给出。Qmax值取决于诸如被抽气体、所使用的前级泵、转速和冷却条件等此类因素。这个参数取决于气体温度，Qmax所用单

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位为Pa·L/s或mbar·L/s时，则应注明测试罩温度，Qmax所用单位为sccm时除外。

3.3

体积流率volumeflowrate

qV

qVdt=d

qVdt

式中

V──体积；

t──是时间。

示例：在ISO21360系列标准中，体积流率指的是在理想条件下，单位时间内从测试罩流过涡轮分子泵入口的气体体积。

注1：由于实际测量的原因，涡轮分子泵对给定气体的体积流率通常认为等于该气体的流量与给定位置的平衡压力之商。体积流率的单位为立方米每秒或升每秒。

注2：术语“抽速”和符号“S”常用来代替体积流率。

[来源：ISO21360-1：2012，3.1]

3.4

极限压力ultimatepressure

测试罩中逐渐趋近的压力值。

注1：极限压力始终低于基础压力（pb1）。

注2：它是涡轮分子泵所获得的最低压力。

注3：制造商说明书中建议不给出极限压力值。因此，本文件中也不给出极限压力的测量程序。但是如果制造商列出了极限压力，宜说明完成测量的工作条件和测量时间。

3.5

涡轮分子泵基础压力basepressureturbomolecularpump

pb1

烘烤48h后，在测试罩中获得的压力。

注1：此时涡轮分子泵和测试系统内无任何测试气体（见5.6）。

3.6

有效压缩比effectivecompressionratio

Keff

涡轮分子泵前级压力（p3）与其入口压力（p1）之比。

Keff=