真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度 编制说明.pdf

《真空技术真空计磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度》

编制说明

（征求意见稿）

一、工作简况

1任务来源

本项目是根据国标委国家标准制修订计划（国标委发[2023]37号文），计划编T-604，项目

名称“真空技术真空计磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度”进行制定，主要起草单位：兰州

空间技术物理研究所，计划应完成时间2024年。

2主要工作过程

起草（草案、论证）阶段：2023年8月15日，兰州空间技术物理研究所收到计划批复文件。作为标准

制定的组织单位及主要起草单位，为了高质量、按时完成本次国家标准的编制起草工作，组织成立“真空技

术真空计磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度”起草工作组，确定草案的工作方案，负责草案

的编写和进度控制。该项目等同转化ISO24477:2022，亦为我国牵头制定的国际标准，因此在国际标准研制

的基础上，广泛收集了国内磁悬浮转子真空计的总体情况，依此完成了草案编写，形成了征求意见稿，于

2024年1月15日报至真空标委会秘书处。

征求意见阶段：经标委会秘书处审核，于2024年3月1日由工作组牵头负责通过网站宣传、杂志登载、

微信公众号登载等方式公开征求意见。

3主要参加单位和工作组成员及其所做的工作等

二、标准编制原则和主要内容

1编制原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目

标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定工作，且与技术创新、试验验证、

产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

本标准起草过程中，主要参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规

则》的要求进行编写。在标准转化过程中，综合考虑生产企业的能力和用户的利益，寻求最大的经济、社会

效益，充分体现了标准在技术上的先进性和技术上的合理性。

2主要内容

本标准是等同采用ISO24477：2022《Vacuumtechnology─Vacuumgauges─Specifications,

calibrationandmeasurementuncertaintiesforspinningrotorgauges》。

本文件界定了磁悬浮转子真空计相关的术语，规定了所需参数（包括部组件参数、物理参数等），详细

描述了在使用这些真空计时的校准步骤和应考虑的不确定度分量、校准指南、校准结果以及测量不确定度的

评定方法。本文件适用的压力上限为2Pa。

在描述磁悬浮转子真空计的特征或将其用于校准或用作标准真空计时，本文件是对GB/T34873《真空计

与标准真空计直接比较校准》和GBT34876-2017/ISO27893：2011《真空技术真空计与标准真空计直接比

较校准结果的不确定度评定》的补充。

3解决的主要问题

高真空环境是航空航天、核工业、半导体、高端装备制造等领域发展的重要保障，高真空测量精度直接

决定了以上领域技术的快速发展，在该压力范围，国际公认的溯源/传递标准为磁悬浮转子真空计。国内尚

没有关于磁悬浮转子真空计校准方法、规范、测量不确定度等的完整、统一标准。本标准的起草将填补这一

空白，为高真空范围量值的准确可靠传递奠定基础。本标准的发布实施，可确保产品的安全性、可靠性和稳

定应用性，有效解决高真空范围真空量值准确、可靠传递的难题。通过规定磁悬浮转子真空计的通用术语、

制造商应给出的参数以及使用时应该考虑的测量不确定度等内容，对规范市场、指导生产、提高产品的技术

性能，提高磁悬浮转子真空计的全生命周期内的可靠性，更好地满足市场和使用需要，提升我国磁悬浮转子

真空计的技术水平，满足我国航空航天、半导体、大科学工程等领域对真空量值溯源准确性日益提高的应用

需求具有十分重要的作用。也为计量机构的校准及使用单位的实际使用提供了技术支撑。

三、主要试验（或验证）情况

本标准是基础标准，不需要进行试验或验证。

四、标准中涉及专利的情况

本标准不涉及专利问题。

五、预期达到的社会效益、对产业发展的作用等情