真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 征求意见稿.docx

GB/TXXXXX—XXXX/ISO19685:2017

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真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度

1范围

本文件给出了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。

本文件适用于工作压力范围为0.01Pa~150kPa的皮拉尼真空计。

当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对GB/T34873和ISO27893的补充。另外，本文件描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T34873-2017真空计与标准真空计直接比较校准（ISO3567:2011，IDT）

ISO27893真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Evaluationoftheuncertaintiesofresultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge）

注：GB/T34876-2017真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（ISO27893:2011，IDT）

ISO/IEC17025检测和校准实验室能力的通用要求（Generalrequirementsforthecompetenceoftestingandcalibrationlaboratories）

注：GB/T27025－2019检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC17025：2017，IDT）

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1部组件定义

3.1.1

热传导真空计thermalconductivitygauge

通过测量保持不同温度的两个固定元件表面间的热量传递来确定压力的一种真空计。注：这种真空计取决于与压力有关的气体热传导。

[来源：ISO3529-3:2014，2.4.2.2，有修改——删除了示例]

3.1.2

皮拉尼真空计Piranigauge

被加热元件是惠斯通电桥的组成部分，由电桥为其提供能量，并测量元件电阻或耗散功率的一种热传导真空计。

注1：一些皮拉尼真空计通过在管内使用热对流来扩展测量范围的上限。这种类型通常被称为对流增强型皮拉尼真

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空计。

注2：参见附录A。

[来源：ISO3529-3:2014，2.4.2.2.2，有修改——更换了注1]

3.2物理参数定义

3.2.1

内部容积internalvolume

从法兰连接平面处开始计算，真空规暴露于其所连接的真空系统中的容积。

3.2.2

热调节系数thermalaccommodationcoefficient

分子在皮拉尼真空计中与加热元件碰撞后的绝对温度与加热元件的绝对温度之比。

3.2.3

长期不稳定性long-terminstability

在周期确定的情况下，用以表征相对测量误差e==随时间发生典型变化的量值，

需要指定周期。

注1：此类真空计长期稳定性的测量误差通过测量一段时间后的氮气压力[p=（10±1）Pa]来确定。其中δt为相对量，

能通过两种方式确定：

a)至少进行三次校准，从中获得测量误差ei的相对标准偏差，每次校准间隔规定的时间，

ni=1iδt=(e-

ni=1i

其中n为校准的次数i，并且

e=ei

b)校准前后测量误差Δpi变化量绝对值（非负）的平均值，每次校准间隔规定的时间，

δt=+1ei

n如上所述。

注2：当测量误差无明显漂移呈现随机变化时，建议采用a)中的公式，当测量误差呈现系统且单调的漂移时，建议采用b)中的公式。

注3：如果真空计的输出信号不是压力(如电压或电流)，在计算测量误差之前，能根据制造商的规范将该信号转换为

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压力。

注4：使用更精确的真空计或基本标准重新校准能确定长期稳定性。输出本身能导致校准值不稳定，这通常会由其产

生。因此，长期稳定性与时间不是线性关系(例如两年的δt不是一年的δt的2倍)。

注5：如果没有特别说明，建议在一年的周期内确定δt。一方面是出