一种新型研磨盘.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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本发明涉及精密研磨技术领域,公开了一种新型研磨盘,包括研磨筒、下研磨盘和上研磨盘,所述下研磨盘的下表面固定连接有底轴,且底轴的下端贯穿研磨筒底部;通过上研磨盘、下研磨盘、上磨盘涂层和下磨盘涂层之间的配合,上研磨盘与下研磨盘的转动方向相反,并且上磨盘涂层与下磨盘涂层均通过金刚砂电镀,烧结并包裹在上研磨盘和下研磨盘的表面,研磨涂层固化在研磨盘的表面提高了整体的硬度,相较于传统研磨液研磨,无需在线导入研磨液,减少研磨时间的同时提高了研磨效率,提高工件研磨的有效利用面积,大幅度减少划伤,并且上研磨盘与下

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117620892A

(43)申请公布日2024.03.01

(21)申请号202311557241.1

(22)申请日2023.11.21

(71)申请人上海合晶硅材料股份有限公司

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