真空技术 真空计 磁悬浮转子真空计的规范、校准和测量不确定度.pdfVIP

真空技术真空计磁悬浮转子真空计的技术规范、校准和测量不

确定度

1范围

本文件界定了磁悬浮转子真空计（SRGs）相关的术语，规定了SRGs所需参数，详细描述了在使用

这些真空计时的校准步骤和所需不确定度分量。本文件适用的压力上限为2Pa。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

ISO3529-1真空技术术语第1部分：基础术语(Vacuumtechnology—Vocabulary—Part1:

Generalterms)

注：GB/T3167-2007真空技术术语（ISO3529:1981，MOD）

ISO3529-3真空技术术语第3部分：全压和分压真空计(Vacuumtechnology—Vocabulary—

Part3:Totalandpartialpressurevacuumgauges)

注：GB/T3167-2007真空技术术语（ISO3529:1981，MOD）

ISO3567真空技术真空计与标准真空计直接比较校准(Vacuumtechnology—Vacuumgauges

—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)

注：GB/T34873-2017真空计与标准真空计直接比较校准（ISO3567:2011，IDT）

ISO27893真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定(Vacuum

technology—Vacuumgauges—Evaluationoftheuncertaintiesofresultsofcalibrationsbydirect

comparisonwithareferencegauge)

注：GB/T34876-2017真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（ISO27893:2011,IDT)

ISO/IECGuide98-3测量不确定度第3部分：测量不确定度表示指南（GUM：1995）[Uncertainty

ofmeasurement—Part3:Guidetotheexpressionofuncertaintyinmeasurement(GUM:1995)]

注：GB/T27418-2017测量不确定度的评定与表示（ISO/IECGuide98-3，MOD)

ISO/IECGuide99国际计量学词汇基本和通用概念及相关术语（VIM）[Internationalvocabularyof

metrology—Basicandgeneralconceptsandassociatedterms(VIM)]

IEC60050(300-311)国际电工词汇电工电子测量和仪器仪表第311部分：测量的通用术语

（InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuring

instruments—Part311:Generaltermsrelatingtomeasurements）

注：GB/T2900.77-2008电工术语电工电子测量和仪器仪表第1部分：测量的通用术语[IEC

60050(300-311):2001,IDT]

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IEC60050(300-312)国际电工词汇电工电子测量和仪器仪表第312部分：电测量的通用术语

（InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electrical