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陶瓷微加工钯掺杂一氧化碳气体传感器的研究的中期报告

一、研究背景及意义

二氧化钛（TiO2）具有宽波长带隙和半导体性质，是一种重要的氧化物材料，可用于制备气敏材料。其中，TiO2纳米晶体吸附有大量的气体分子，可以通过吸收气体分子改变其电学特性和导电性，从而提高传感器的灵敏度和响应速度，成为一种广泛应用于气体检测和控制领域的材料。

由于TiO2自身光催化性能比较差，故加入钯（Pd）等杂质元素可提高其气敏性能。在CO（一氧化碳）气体传感器中，Pd掺杂TiO2的灵敏度较高，并且可以检测低浓度的CO气体。

传统的CO气体传感器多采用厚膜技术，难以满足小型化、大规模集成和实时检测的需求。而利用MEMS技术制备CO气体传感器，则可以实现微型化、集成化和高速响应的特点，因此备受关注。在MEMS技术下，将CO气体传感器结构与制备工艺优化，可提高其性能和应用范围。

二、研究内容

本研究针对Pd掺杂TiO2微纳结构的制备和CO气体传感特性进行研究。

1、材料制备

本研究采用了射频磁控溅射和离子束蚀刻技术，制备了Pd掺杂TiO2微纳结构气敏材料，并优化了材料的制备工艺。

2、传感特性测试

利用自主设计的微型CO气体传感器测试了Pd掺杂TiO2微纳结构的气敏特性，并对其性能进行了分析和评估。

三、研究进展

目前已完成射频磁控溅射和离子束蚀刻工艺的优化，制备出了Pd掺杂TiO2微纳结构气敏材料并进行了表征。利用自主设计的微型CO气体传感器对其气敏特性进行了测试和分析，初步结果表明该传感器具有良好的检测灵敏度和响应速度。

接下来，将继续对材料的制备工艺进行优化，以提高材料的气敏性能。同时，将对传感器的结构和制备工艺进行优化，进一步提高其检测灵敏度和响应速度。最终实现该传感器的小型化、集成化和高灵敏度。

四、结论

本研究对Pd掺杂TiO2微纳结构CO气体传感器进行了深入研究，初步取得了一定的成果。通过进一步优化制备工艺和结构设计，可望实现该传感器的微型化、集成化和高灵敏度，为CO气体检测和控制领域的应用提供一种新的技术手段。