《显微镜畸变校准用米字线纹尺校准规范》-讨论稿.docxVIP

JJF（有色金属）XXXX—XXXX

1

显微镜畸变校准用米字线纹尺校准规范

1范围

本规范适用于显微镜畸变校准用米字线纹尺的校准。

2引用文件

本规范引用下列文件：

JJG73-2005高等别线纹尺

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

3概述

“米字线纹尺”是光学显微镜畸变校准的主要标准器，具有结构简单、准确度高、稳定性好、实用性强等诸多优点，广泛应用于光学显微镜畸变和测量系统畸变的测量，也可用于影像

仪、投影仪等精密计量仪器的校准。“米字线纹尺”可分为A型分度值0.1mm和B型分度值

0.01mm两类，由四个呈米字形交叉于一点布设的直线线纹尺构成，结构图如图1所示

A型B型

图1“米字形”线纹尺结构图

4计量特性

4.1材料线膨胀系数偏差

在（+15～+30）℃的温度区间材料线膨胀系数的偏差范围如下：

Δα=±0.5×10-6℃-1（材料线膨胀系数一般由生产厂提供）

2

4.2平行度

刻线面和非刻线面的平行度≤30μm；

4.3刻线宽度和长度

刻线宽度（4~8）μm，线宽之差不大于1.0μm；刻线长度（0.3~0.6）mm，规格相同的部分其刻线长度之差不大于