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2023年微电机项目规划设计方案.docx

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    微电机项目规划设计方案

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    微电机项目规划设计方案

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    TOC\h\z8171序言 3

    24883一、工艺说明 3

    8141(一)、技术管理特点 3

    10715(二)、微电机项目工艺技术设计方案 4

    4750(三)、设备选型方案 5

    31372二、微电机项目绩效评估 7

    30783(一)、绩效评估指标 7

    19022(二)、绩效评估方法 8

    28185(三)、绩效评估周期 9

    641三、微电机项目土建工程 10

    7390(一)、建筑工程设计原则 10

    567(二)、土建工程设计年限及安全等级 11

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