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本发明公开了一种电子显微镜及其图像配准方法和装置、存储介质,其中,电子显微镜的图像配准方法包括:获取电子显微镜中样品台的标准图像的特征信息;根据标准图像的特征信息确定浮动图像的调整参数并对浮动图像进行调整;根据标准图像和经过调整后的浮动图像建立浮动图像的透视矩阵;根据透视矩阵和调整参数确定浮动图像的变换矩阵;根据变换矩阵对电子显微镜实时获取到的浮动图像进行配准。由此,可以获取到通用的变换矩阵,进而通过变换矩阵对电子显微镜实时获取到的图像进行配准,从而使用户可以快速并准确的获取到所需图像。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117649434A
(43)申请公布日2024.03.05
(21)申请号202410125660.6
(22)申请日2024.01.30
(71)申请人国仪量子技术(合肥)股份有限公司
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