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第4章???电容式传感器;4.1电容式传感器的工作原理及结构类型;一、工作原理及结构类型

电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。

多数场合下，电容器是由两个金属平行板组成，且以空气为介质。如果不考虑边缘效应，电容器的电容量：;电容式传感器可分为三种类型：变间隙式（变极距式、变间距式）、变面积式和变介电常数式。;二、变间隙式电容传感器;但d0减小会导致非线性误差增大，且d0过小时，容易引起电容器击穿。改善耐压性能的办法是在极板间放置高介电常数的材料（云母片、塑料膜等）。此时电容C变为;一般电容式传感器的起始电容在20~30pF之间，极板距离在25~200?m的范围内，最大位移应该小于间距的1/10。此类电容传感器仅适于较小位移的测量，但分辨率极高，可测0.01?m的线位移。;三、变面积式电容传感器;;2.平面线位移

极板起始覆盖面积为S＝a×b，;增加极板长度b、减小极板间距d都可以提高灵敏度K；

减小极板宽度a可提高相对灵敏度KC，而极板起始覆盖长度b与相对灵敏度KC无关。但a不能太小，必须保证a》d，否则边缘不均匀电场影响将增大。;平板式极板做线位移测量最大不足之处是对移动极板平行度要求高，稍有倾斜则极距d变化，影响测量精度。因此在一般情况下，变面积式