立方氮化硼薄膜的制备和特性研究的任务书.docxVIP

立方氮化硼薄膜的制备和特性研究的任务书

任务书

1.研究背景

立方氮化硼（cBN）是一种具有高硬度、高热导率和高化学稳定性的超硬材料，具有广泛的应用前景。然而，由于其高成本和难以制备，现代工业应用还比较有限。近年来，研究者们利用多种方法制备cBN薄膜，如化学气相沉积、物理气相沉积和分子束外延等。这些方法都具有各自的优缺点，需要进一步研究。

2.研究目的

本次研究的目的是使用物理气相沉积方法制备cBN薄膜，并研究其制备工艺和物理化学特性。具体目标如下：

（1）采用电子束蒸发法在Si（100）表面成长cBN膜；

（2）通过改变沉积条件，研究其在不同情况下的表面形貌和结构特征；

（3）使用X射线衍射、拉曼光谱仪和原子力显微镜等对cBN膜进行物性表征；

（4）探究cBN膜在硬度、热导率以及化学稳定性方面的特点；

（5）建立cBN薄膜制备工艺条件，并进行优化。

3.研究内容

（1）实验条件的准备，包括样品制备、仪器校准等工作；

（2）调整沉积参数，制备出具有不同表面形貌的cBN薄膜；

（3）对不同沉积条件下的cBN薄膜进行表征，包括X射线衍射、拉曼光谱光谱和原子力显微镜；

（4）对cBN薄膜进行物理性能测量，包括硬度测试、热导率测试和化学稳定性测试等；

（5）通过以上结果建立cBN薄膜制备条件，并进行工艺优化。

4.研究计划

第1-2个月：开展文献综述，熟悉cBN薄膜制备技术和物理化学性质；

第3-4个月：准备样品、校准仪器，进行cBN薄膜的物理气相沉积实验；

第5-6个月：对cBN薄膜进行表征（X射线衍射、拉曼光谱仪、原子力显微镜等），分析其物理化学性质；

第7-8个月：对cBN薄膜进行物理性质测量（硬度测试、热导率测试和化学稳定性测试等）；

第9-10个月：结合实验结果进行cBN薄膜制备工艺分析，并进行工艺优化；

第11-12个月：完成论文撰写和学术论文发表工作。

5.预期成果

（1）制备成功具有优异物理性质的cBN膜，并建立制备工艺条件；

（2）对cBN膜进行了全面的物理化学表征，并得出结论；

（3）测量并比较了cBN膜与其他超硬材料的物理性质；

（4）提供了cBN膜在实际工业应用中提高性能和降低成本的思路。