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2024-03-09 发布于四川
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本申请涉及光刻胶的技术领域，具体公开了一种KrF正型光刻胶。一种KrF正型光刻胶，所述光刻胶的原料包括如下重量份的组分：丙烯酸酯共聚树脂15~35份、酚醛丙烯酸酯复合树脂5~15份、偶联剂0.05~0.1份、光酸发生剂3~5份、有机碱0.01~0.05份、表面活性剂0.01~0.05份、溶剂40~60份；所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的原料包括：丙烯酸单体、引发剂、乙醇、酚醛树脂。一种KrF正型光刻胶的制备方法，包括以下步骤：将丙烯酸酯共聚树脂、酚醛丙烯酸酯复合树脂、偶联剂、光酸发生剂、有机碱、表面活

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117666285A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202311626141.XC08F220/14(2006.01)

(22)申请日2023.11

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