一种真空作业设备及其维护方法.pdfVIP

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2024-03-09 发布于四川
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本发明涉及一种真空作业设备及其维护方法。在进光管路上设置有隔离阀与进气阀，隔离阀在闭合状态下可以隔离进光管路位于隔离阀两侧的空间，而进气阀在开启的状态下可以向进光管路输送气流。进气阀设置在隔离阀与终点检测窗之间，所以，在需要更换终点检测窗时，可以闭合隔离阀，并打开进气阀，利用进气阀对隔离阀与终点检测窗之间的空间进行破真空，然后进行终点检测窗的拆卸与更换。因为隔离阀与终点检测窗之间的空间小于真空反应腔的空间，所以，对隔离阀与终点检测窗之间的空间破真空而导致的真空作业设备停机时间小于对真空反应腔破真

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117672797A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202211070351.0

(22)申请日2022.08.31

(71)申请人重庆康佳光电技术研究院有限公司

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