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本发明属于硬质涂层技术领域，具体涉及一种医疗器械用多元氮化物复合涂层及其制备方法。本发明提供的多元氮化物复合涂层包括在基体表面依次层叠设置的Ti层、TiN层、TiAlSi层和TiAlSiN层。本发明所述的多元氮化物复合涂层具有四层结构，每层结构之间具有相同的金属元素，通过设定多层梯度过渡层的方式，形成合理的应力梯度，缓解涂层和基体间界面处的应力突变，增强膜基结合强度。实施例的数据表明：本发明提供的多元氮化物复合涂层具有高硬度和高耐磨性能，且与基体具有良好的结合力，可应用于不锈钢基医疗器械的保护性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114941123A
(43)申请公布日2022.08.26
(21)申请号202210659322.1
(22)申请日2022.06.13
(71)申请人上海锐畅医疗科技有限公司
地址2
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