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本发明公开了一种氮化镓功率器电子流动性检测系统，涉及氮化镓晶体管流动性检测技术领域，该系统通过整合光学激发测量模块、时间域测量模块、温控测量模块和噪音测量模块的数据，获得数据库；通过建立数字模型，分析计算获得电子迁移系数、第一功率稳定系数Dy1、第二稳定系数Dy2和热噪音系数Rzy，这为深入理解氮化镓晶体管性能提供了有力的工具，提高了评估的精确性和深度。并通过评估模块设定标准阈值和生成调整策略，实现了对器件合格性的灵活判定。根据评估结果生成的调整策略，包括优化结构、动态电路设计和制造工艺，并引入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117665524A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202410103092.X
(22)申请日2024.01.25
(71)申请人鲁欧智造（山东）高端装备科技有限
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