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提供一种石英器件的镀碳方法，其包括：步骤一，将石英器件的不需要镀碳的区域整个涂布覆盖剂；步骤二，将涂布覆盖剂的石英器件置于熏碳炉的熏碳管内的与加热区对应的位置，进行镀碳作业；步骤三，待镀碳作业结束后，将石英器件取出，去掉覆盖剂，并清洁石英器件的去掉覆盖剂的区域。在本公开的石英器件的镀碳方法中，通过将石英器件的不需要镀碳的区域整个涂布覆盖剂以及在镀碳作业结束后去掉覆盖剂，能够选择性地对被镀碳的石英器件的裸露表面进行镀碳。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115259684A
(43)申请公布日2022.11.01
(21)申请号202210920571.1
(22)申请日2022.08.02
(71)申请人安徽光智科技有限公司
地址239
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