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本发明实施例涉及一种用于多腔体沉积设备的双射频电源和多腔体沉积设备，其中，第一射频发生器输出的第一射频信号经第一射频调制模块调制得到第一调制信号，再经过第一信号分流器分流为两路第一调制信号，其中每路再经一组射频输出分线器分路成两路形成多路第一输出线路；第二射频发生器输出的第二射频信号经第二射频调制模块调制得到第二调制信号，再经过功率分配器分成多路形成多路第二输出线路；一条第一输出线路和一条第二输出线路连接至多腔体沉积设备的一个沉积腔体，通过第一调制信号对沉积所用工艺气体提供电离能量，在沉积腔体内
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117660940A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211019645.0
(22)申请日2022.08.24
(71)申请人江苏省溧阳高新区控股集团有限公
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