GB/T 41213-2021集成电路用全自动装片机.pdf

ICS31.220

CCSL95GB

中华人民共和国国家标准

GB/T41213-2021

集成电路用全自动装片机

Integratedcircuitfullautomaticdiebonder

2021-12-31发2022-07-01实

布施

国家市场监督管理总局串舍

国家标准化管理委员会。ι叩

GB/T41213-2021

目次

前育……..……··…….………..•••...III

1范围”….…...…….1

2规范性引用文件………………..…1

3术语和定义………………··….…1

4产品结构、分类、型号和基本参数……·…2

41结构…2

.

4.2分类……”……·…2

4.3型号………”……….2

4.4基本参数…...”…….2

5工作条件.…………·…3

51.………·…3

.洁净度

5.2…·………3

相对湿度

5.3环境温度……………·……3

54静电要求……………….…….3

.防

55电源要求………·”……3

.

5.6设备电流要求….“…...…3

57压缩空气压力及要求…”…··……3

.流量

58真空压力要求……·………….3

.

6要求..…·……“…….4

6.1外…·…………….…4

观

6.2搬送机构………”………4

63焊接机构………”………4

.

64图像识别系统…………….……..4

.

65晶圆工作台……·………….4

.

66机构………………4

.顶针

67点胶机构……………4

.

6.8下料机构….…5

69气分………“……“5

.电部

61件