现代加工技术-全套PPT课件.pptx

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为了保证加工质量及其稳定性，必须采用自动化技术来进行加工。

（5）微细加工检测一体化

微细加工的检验、测试配置十分重要，要有相应的检验和测试???段，在位和在线检测的研究非常必要。

（6）微细加工技术与精密加工技术互补

微细加工属于精密加工范畴，但其自身特点十分显著，两者相互渗透，相互补充。;6.2微细加工机理;6.2微细加工机理;6.2微细加工机理;6.2微细加工机理;6.3微细加工方法;6.3微细加工方法;6.3微细加工方法;6.3.3硅微细加工技术;6.3微细加工方法;6.3微细加工方法;6.3微细加工方法;（2）曝光技术

曝光技术可以从曝光能量束、掩膜处于不同空间位置等来分类考察。从能量束角度看，目前微细加工光刻采用的主要技术有远紫外曝光技术、电子束曝光技术、离子束曝光技术、X射线曝光技术。其中，离子束曝光技术具有最高的分辨率；电子束则代表了最成熟的亚微米级曝光技术；紫外准分子激光曝光技术则具有最佳的经济性，实用性较强。

（3）刻蚀技术

刻蚀技术是独立于光刻的一类重要的微细加工技术，但刻蚀技术经常需要曝光技术形成特定的抗蚀剂膜。而光刻之后一般也要靠刻蚀得到基体上的微细图形或结构，所以刻蚀技术经常与光到技术配对出现。;6.4LIGA技术及准LIGA技术;6.4LIGA技术及准LIGA技术;6.4LIGA技术及准LIGA技术;6.4LIGA技术及准LIGA技术;6.4LIGA技术及准LIGA技术;6.4LIGA技术及准LIGA技术;用准LIGA技术，既可制造高深宽比的微结构，又不需要昂贵的同步辐射X射线源和特制的LIGA掩模，对设备的要求低得多，而且它与集成电路工艺的兼容性也要好得多。图6-5所示为准LIGA的工艺流程。;6.4LIGA技术及准LIGA技术;6.5微细加工技术应用;6.5微细加工技术应用;6.5微细加工技术应用;6.5