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去除膜框的装置及方法.pdfVIP

去除膜框的装置及方法.pdf

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    本发明提供一种去除膜框的装置及方法，该装置包括基板固定机构和夹紧件，夹紧件位于基板固定机构上方，基板固定机构和夹紧件中的至少一个被配置为能够沿竖直方向运动，夹紧件包括支架、安装座和夹爪，安装座与支架连接，夹爪安装在安装座上，且夹爪被配置为能够相对安装座发生位移。上述的去除膜框的装置能够节省光刻工艺生产成本及光掩膜再生成本，并且能够有效提高光掩膜再生良率。相应地，本发明还提供一种去除膜框的方法。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117687263A

    (43)申请公布日2024.03.12

    (21)申请号202311606340.4

    (22)申请日2023.11.29

    (71)申请人上海传芯半导体有限公司

    地址2

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