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一种半导体微粒检测装置自检方法及控制方法.pdfVIP

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  • 2024-03-13 发布于四川
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一种半导体微粒检测装置自检方法及控制方法.pdf

    一种半导体微粒检测装置自检方法，在半导体微粒检测装置检测晶圆时，选取待测晶圆部分区域作为测试区域进行先后两次扫描检测，比较两次检测数据的偏差值，若偏差值超过设定的阈值，表示样本表面产生有由检测源造成的污染，停止检测并排除样本，反之则进行正常检测扫描整片晶圆。通过本发明提出的自检方法能够有效避免因检测源对晶圆造成的不良影响；并且在产生不良反应时也能立即排除晶圆，可防止大量的质量事故。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117686389A

    (43)申请公布日2024.03.12

    (21)申请号202211020052.6

    (22)申请日2022.08.24

    (71)申请人成都高真科技有限公司

    地址61

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