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真空泵应用介绍.pdfVIP

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真空泵应用介绍

1、爪型干式真空泵

爪型干式真空泵概述

爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间

进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。

爪型干式真空泵的结构

爪型干式真空泵的结构,一般采用多级转子串联,或罗茨转子与多级转子串联的形式,组成多级爪型

干式真空泵。

如图所示,四级泵腔依次串联,每级泵腔内各有一对共轭啮合,做同步反向运动的爪型转子。

四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级,其吸

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