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2023年半导体设备项目规划设计纲要.docx

2023年半导体设备项目规划设计纲要.docx

    半导体设备项目规划设计纲要

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    半导体设备项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z189序言 3

    6226一、半导体设备项目选址可行性分析 3

    14442(一)、半导体设备项目选址 3

    1552(二)、用地控制指标 3

    11265(三)、节约用地措施 5

    880(四)、总图布置方案 6

    32654(五)、选址综合评价 7

    10597二、半导体设备项目建设单位说明 8

    8446(一)、半导体设备项目承办单位基本情况 8

    11204(二)、公司经济效益分析 9

    1006三、半导体设备项目绩效评估 10

    27246

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