MEMS陀螺噪声理论与模型综述.docxVIP

第6卷第5期2023年9月

飞控与探测

FlightControlDetection

Vol.6No.5September2023

*MEMS陀螺噪声理论与模型综述

*

聂伟豪,焦娟,刘梦祥,姜波,周怡,苏岩

(南京理工大学机械工程学院·南京·210094)

摘要:工作在闭环检测模式下的MEMS陀螺具有较好的整体性能,是目前具有发展潜力的微陀螺方案之一。但是多个闭环的存在使得测控系统噪声源变多,通过构建噪声模型可以量化各噪声源对零偏输出的贡献,并且探明结构和电路参数对噪声性能指标的影响,从而调整设计参数与控制方式,优化设计。首先阐述了MEMS陀螺谐振系统中的噪声源—热噪声和闪频噪声产生机理,然后将陀螺噪声模型分为相位噪声模型和幅度噪声模型,分别讨论国内外研究机构噪声建模的进展,如针对幅度频率耦合导致的额外相位噪声,讨论了非线性相位噪声模型和幅度噪声模型。非线性相位噪声模型通过引入非线性刚度来完善相位噪声谱表达式,幅度噪声模型通过考虑不同输入点的噪声在力平衡环路的传递过程来量化各噪声源影响因素。最后,对噪声模型的发展进行了展望,可以通过构建与调幅陀螺相联系的相位噪声模型和零偏不稳定性噪声模型,实现对陀螺噪声分析的完善。

关键词:MEMS陀螺;闭环检测;幅度与相位噪声;噪声模型;研究进展

中图分类号:TH824.3文献标志码:A文章编号:2096-5974(2023)05-0001-13

ReviewontheTheoryandModelingofMEMSGyroNoise

NIEWeihao,JIAOJuan,LIUMengxiang,JIANGBo,ZHOUYi,SUYan

(SchoolofMechanicalEngineering,NanjingUniversityofScienceandTechnology,Nanjing210094)

Abstract:TheMEMSgyroscopeoperatingunderclosed-loopdetectionhasagoodoverallperformanceandisoneofthepotentialmicro-gyrosolutions.Duetotheexistenceofmultipleclosed-loops,itmakesthemeasurementandcontrolsystemnoisesourceincrease,andbyconstructinganoisemodel,thecontributionofeachnoisesourcetothezerobiasoutputcanbequantified,andtheinfluenceofstructuralandcircuitparametersonthenoiseperformancein-dexcanbeinvestigated,soastoadjustthedesignparametersandcontrolmethods,andoptimizethedesign.First,thenoisesourcesinMEMSgyroresonantsystemsaredescribed—thermalnoiseandflashnoisegenerationmecha-nism.Second,thegyronoisemodelisdividedintothephasenoisemodelandtheamplitudenoisemodel,andtheprogressofnoisemodelingindomesticandinternationalresearchinstitutionsisdiscussedrespectively.Fortheaddi-tionalphasenoisecausedbyamplitude-frequencycoupling,thenonlinearphasenoisemodela