MEMS谐振器的常用闭环驱动控制方法对比分析.docxVIP

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2024-03-18 发布于山东
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MEMS谐振器的常用闭环驱动控制方法对比分析.docx

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第6卷第5期2023年9月

飞控与探测

FlightControlDetection

Vol.6No.5September2023

析MEMS谐振器的常用闭环驱动控制方法对比分*

析

李志1,张晶1,周严1,杨欣雨2

(1.南京理工大学机械工程学院·南京·210096;2.中国人民解放军96962部队·北京·102200)

摘要:微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)谐振器因其频率输出的特性被广泛应用于多种微机电传感器中。为提高其谐振工作状态的稳定性,普遍采用闭环控制的方法实现MEMS谐振器的静电驱动和检测。针对3类主流的MEMS谐振器闭环驱动方法开展研究,即分别对无自动增益控制、直流-交流自动增益控制和交流自动增益控制方法进行了原理分析和仿真建模。通过搭建仿真模型对比了3种闭环驱动控制方法的响应速度和稳幅效果,并总结了各类方法的优缺点。结果表明,无自动增益控制的闭环驱动方法结构简单,引入噪声源较少,稳幅效果较差,易造成谐振器的振动非线性;直流-交流自动增益控制和交流自动增益控制方法响应速度快,稳幅效果好。其中直流-交流自动增益控制方法稳定性好,功耗高,不利于低功耗、小型化发展。交流自动增益控制方法结构简单,但增益模块会导致噪声信号被放大,不利于信噪比的提高。本研究为未来对特定谐振器闭环驱动控制方法提供了较为具体的指导意见。

关键词:自激振荡;闭环驱动;谐振器;PI控制;仿真分析

中图分类号:TP273.1文献标志码:A文章编号:2096-5974(2023)05-0029-10

ComparativeAnalysisofCommonClosedLoopDriveControlMethodsforMEMSResonators

LIZhi1,ZHANGJing1,ZHOUYan1,YANGXinyu2

(1.SchoolofMechanicalEngineering,NanjingUniversityofScienceandTechnology,Nanjing210096;

2.Unit96962ofthePeople,sLiberationArmy,Beijing102200)

Abstract:Micro-Electro-MechanicalSystem(MEMS)resonatorsarewidelyusedinvariousMEMSsensorsduetotheirfrequencyoutputcharacteristics.Inordertoimprovethestabilityoftheresonantworkingstate,theclosed-loopcontrolmethodtorealizetheelectrostaticdriveanddetectionofMEMSresonatorsisgenerallyused.Thisarti-cleresearchesthreemainstreamclosed-loopdrivingmethodsforMEMSresonators,namely,givingthetheoreticalanalysisandsimulationmodelingofnon-automaticgaincontrol,DCautomaticgaincontrol,andACautomaticgaincontrolmethods.Thesimulationmodelisbuilttocomparetheresponsespeedandamplitudestabilizationeffectofthreeclosed-loopdrivecontrolmethods,andtheadvantagesanddisadvantagesofeachmethodaresummarize