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本发明提供一种能够实现坩埚的温度分布的均匀化的提高的加热装置、蒸发源及蒸镀装置。加热装置具备：具有发热体(331b)并对坩埚(321)进行加热的加热器(331)；及隔着加热器(331)而设置在坩埚(321)的相反侧并使来自加热器(331)的热反射的第一反射器(341)，所述加热装置的特征在于，在第一反射器(341)局部性地设有热辐射率比其他部位高的高热辐射率部(341a)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110656309A
(43)申请公布日
2020.01.07
(21)申请号20181
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