脉冲偏压真空电弧离子镀沉积MgO薄膜及其生长机理研究的任务书.docxVIP

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脉冲偏压真空电弧离子镀沉积MgO薄膜及其生长机理研究的任务书

一、研究背景

MgO薄膜由于其高透明度、高绝缘性和化学稳定性等特性,在光学、电子学、生物医学等领域具有广泛的应用前景。但是,传统的沉积方法往往存在着薄膜结构不规则、缺陷多等问题,因此需要开发新的高效、低成本的制备方法和掌握其生长机理。

二、研究目的

本研究旨在利用脉冲偏压真空电弧离子镀技术制备高质量的MgO薄膜,并深入探究其生长机理。

三、研究内容

1.利用脉冲偏压真空电弧离子镀技术制备MgO薄膜,优化制备工艺参数,得到较高质量的样品。

2.研究MgO薄膜的微观结构、晶体结构和生长动力学等特性,掌握其生长机理。

3.利用X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜等表征手段对制备的MgO薄膜进行表征,并分析其物理化学性质。

4.对制备过程中的重要参数进行分析和优化,提高制备效率和质量。

四、研究意义

本研究将为MgO薄膜的制备和应用提供新的思路和方法,对探究MgO薄膜的生长机理和优化制备工艺具有重要意义。

五、研究进度安排

第一年:熟悉脉冲偏压真空电弧离子镀技术,建立制备MgO薄膜的实验方法,并优化制备参数。

第二年:对制备的MgO薄膜进行表征,并分析其物理化学性质。同时,探究其生长机理。

第三年:对制备过程中的重要参数进行分析和优化,提高制备效率和质量。并对研究成果进行总结和发表相关论文。

六、研究经费预算

研究经费总计50万元,其中实验材料费、实验设备费、会议费、论文出版费等共计40万元;研究人员工资及水电费等共计10万元。

七、研究团队

本研究由某大学材料学院主导,由硕士生导师带领一名博士生和两名硕士生共同完成,人员构成合理,具有较强的实验能力和理论研究能力。

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