发明公布-201310231617.X-一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置与方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103335819A*

*CN103335819A*

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103335819A

(10)申请公布号CN103335819A

(43)申请公布日2013.10.02

(21)申请号201310231617.X

(22)申请日2013.06.12

(71)申请人中国科学院光电技术研究所

地址610209四川省成都市双流350信箱

(72)发明人叶红卫李新阳沈锋

(74)专利代理机构北京科迪生专利代理有限责

任公司11251

代理人成金玉卢纪

(51)Int.Cl.

G01M11/02(2006.01)

权利要求书2页说明书4页附图3页

权利要求书2页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置与

方法

(57)摘要

本发明提供一种用于高精度角锥棱镜光学检

测的装置与方法，所述装置包括平行光源系统、远

场成像系统、用于安置待测角锥的旋转支撑、用于

检测光束分光调整的分光镜架和反射镜架、以及

用于数据分析的远场数据采集系统。所述方法分

析了角锥棱镜加工误差对角锥棱镜光学特性的影

响关系，并对角锥棱镜自准反射光束的聚焦光斑

特性参数进行分析，根据测量结果可以确定高精

度角锥棱镜的加工精度以及成像质量，通过本发

明的测量装置和方法，可以克服现有检测设备测

量精度的不足，实现对角锥棱镜的高精度检测与

筛选。

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CN103335819A权利要求书1/2页

1.一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置，其特征在于：包括光源（101）、扩束系统

（102）、1:1分光镜（103）、自准直反射镜（104）、旋转台上待测角锥棱镜（105）、45°反射镜

（106）、成像系统（107）、用于数据采集和分析的探测器（108）；光源（101）产生光束经过扩

束系统（102）扩束为平行光照射到1:1分光镜（103）上进行分光，一路反射光束经过自准

直反射镜（104）后透过1:1分光镜（103），经45°反射镜（106）进入成像系统（107），会聚

成聚焦光斑由探测器（108）进行数据采集和分析，透过1:1分光镜（103）的另一路分光束

经旋转台上待测角锥棱镜（105）后原路返回，经1:1分光镜（103）反射后通过45°反射镜

（106）进入成像系统（107），会聚成聚焦光斑由探测器（108）进行数据采集和分析，最终探

测器（108）上能够同时探测到自准值反射回路的近似理想聚焦光斑和经过待测角锥棱镜

（105）后的实测聚焦光斑，通过对比分析计算出角锥棱镜的光强衰减、光斑偏移和光斑弥散

特性，聚焦光斑质心的计算公式为：

其中xij,yij是探测器靶面内各象素点的x和y方向的坐标值，Iij为对应象素点的光

强；计算出角锥棱镜（105）旋转一圈过程中每帧图像中聚焦光斑质心位置坐标xic,yic后，计

算出聚焦光斑质心的旋转半径，计算公式为：

以待测角锥棱镜（105）出射光束聚焦光