金属薄膜的制备.docx

金属薄膜的制备与工艺争论

制备薄膜材料的物理方法很多，但大致可分为二大类，化学方法〔包括电化学方法〕和物理方法。化学方法包括：化学气相沉积法〔CVD〕、液相生成法、氧化法、集中法、电镀法等。物理方法包括：真空热蒸发法、直流溅射、磁控溅射法、射频溅射、脉冲激光沉积、分子束外延生长法等薄膜的制备方法。本试验承受直流溅射法、真空热蒸发和磁控溅射法制备金属薄膜。

【试验目的】

学习溅射镀膜的方法，初步了解薄膜形成的机理；

了解真空系统的构造和真空测量技术的根底学问，把握机械泵、集中泵的工作原理及操作规程；

学习直流溅射制备金属薄膜的原理和方法；

学习真空热蒸发和磁控溅射法制备金属薄膜的原理和方法