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一种窄线宽准分子激光系统和线宽压缩并整形的方法.pdfVIP

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  • 2024-03-20 发布于四川
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一种窄线宽准分子激光系统和线宽压缩并整形的方法.pdf

    本发明涉及准分子激光器技术领域，提供了一种窄线宽准分子激光系统和用于该准分子激光系统的线宽压缩并整形的方法。该系统包括输出耦合镜和激光腔、柔性变焦模块、扩束模块、以及与该扩束模块组成littrow结构的光栅，该方法为先根据准分子激光的波前信息实时调节施加于柔性变焦模块上的驱动值；然后根据该驱动值对准分子激光进行整形和线宽压缩；当准分子激光的波前畸变补偿完成时，停止调节操作并固定驱动值，以得到窄线宽准分子激光。该系统结构简单、控制有效，输出激光的线宽值连续可调；提供的方法操作简单、能够精确补偿高重

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110137785A

    (43)申请公布日

    2019.08.16

    (21)申请号20191

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