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本发明公开了一种半导体自动物料搬运系统布局的生成方法及装置，生成方法具体包括如下步骤：对获取的用于半导体生产的设备布局信息进行解析，给出对应的物料搬运信息；分析设备布局信息及物料搬运信息，生成自动物料搬运系统的初始布局，其中，自动物料搬运系统包括轨道及存储设施；结合设备布局信息，通过物流仿真模型，对初始布局进行物流仿真验证；根据物流仿真验证的结果，优化初始布局，实现针对半导体的自动物料搬运系统布局。本发明给出的方案能快速、高效的给出适用半导体生产的自动物料搬运系统的布局，并且结合物流仿真模型验证
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117724432A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410173232.0
(22)申请日2024.02.07
(71)申请人中国电子工程设计院股份有限公司
地
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