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1.电子束加工原理
电子学问
加工原理(2)电子束
电子束加工〔electronbeammachining,EBM〕是在真空条件下,利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦后能量密度为106~109w/cm2的极细束流高速冲击到工件外表上微小的部位,并在几分之一微秒时间内,其能量大局部转换为热能,使工件被冲击部位的材料到达几千摄氏度,致使材料局部熔化或蒸发,来去除材料。
1-放射阴极2-掌握栅极3-加速阳极4-聚焦系统5-电
子束斑点6-工件7-工作台2.电子束加工的特点
高功率密度 属非接触式加工,工件不受机械力作用,很少产生宏观应力变形,同时也不存在
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