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特殊形状晶圆的平坦度测量设备及检出方法.pdfVIP

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  • 2024-03-23 发布于四川
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特殊形状晶圆的平坦度测量设备及检出方法.pdf

    本发明公开了特殊形状晶圆的平坦度测量设备及检出方法，所述设备机台的顶部中间设置有用于放置特殊形状晶圆的特殊形状晶圆放置台组件，所述设备机台的内腔顶部固定设置有用于驱动特殊形状晶圆放置台组件的伺服电机，所述设备机台的顶部后端固定设置有两个L型支撑架，两个所述L型支撑架的顶部之间固定设置有支撑横板，所述支撑横板的前端右侧固定设置有机臂，所述机臂的底部固定设置有底板，本发明涉及平坦度测量设备技术领域。该特殊形状晶圆的平坦度测量设备及检出方法，解决了无法明确反馈出特殊形状晶圆加工过程产生的特殊类型的翘曲

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117739901A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202311634280.7

    (22)申请日2023.12.01

    (71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

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