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本发明公开了一种粒子束检测方法、存储介质和电子设备，应用于粒子束检测系统，所述粒子束检测方法包括：在所述偏转电极引导所述粒子源发射的粒子束运动至所述法拉第杯的情况下，确定所述法拉第杯检测到的电流的电流参数和所述粒子束检测系统的状态参数；基于所述电流参数、所述状态参数、所述粒子束的截面积，确定所述粒子束的密度特征数据；判断所述密度特征数据是否满足预设的密度条件，得到检测结果。应用本发明实施例提供的方案能够对粒子束进行密度检测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117747388A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311693873.0
(22)申请日2023.12.07
(71)申请人国仪量子技术（合
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