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本发明提供了一种双面超透镜的加工方法，该方法包括：在基底的第一表面设置第一结构层，对第一结构层执行第一光刻操作，得到第一纳米结构和对准识别标记；在基底的第二表面设置第二结构层；在第二结构层与对准识别标记对应位置处制作对准窗口；基于对准识别标记进行对准，并对第二结构层执行第二光刻操作，得到第二纳米结构。通过本发明实施例提供的双面超透镜的加工方法，基于第一光刻操作时所得到的对准识别标记，与其在第二结构层相应位置处的对准窗口，透过对准窗口识别对准识别标记，对准并进行第二光刻操作。该方法打破了传统背面套
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117742078A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202211123393.6
(22)申请日2022.09.15
(71)申请人深圳迈塔兰斯科技有限公司
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