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一种MEMS谐振器.pdfVIP

一种MEMS谐振器.pdf

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    本实用新型的MEMS谐振器包括：谐振子、锚固件、连接梁和电极，其中，锚固件包括一个TSV柱和接触柱，多个接触柱通过一个TSV柱进行固定，进而TSV柱将谐振子固定在衬底上，驱动电极用于驱动谐振子产生谐振，检测电极用于检测谐振子产生的谐振，通过将现有技术中充当支撑结构的多个TSV通孔设计成一个，从而弥补多个TSV通孔之间的连接点强度不足的缺陷，此外，通过额外增加一层电连接层，使得TSV柱之间的应力互相平衡且具有一致性，且使用TSV柱后使得锚点的鲁棒性更强，从而提高MEMS谐振器的性能和寿命。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220653347U

    (45)授权公告日2024.03.22

    (21)申请号202322351392.3

    (22)申请日2023.08.30

    (73)专利权人麦斯塔微电子（深圳）有限公司

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