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离子溅射仪操作注意事项

不管仪器是处于运行还是停止状态，都不要将仪器上面的盖子移开，否则仪器损坏或发生电击危险；

在仪器周围5米范围内不要使用可燃物，避免出现燃烧或爆炸危险；

仔细观察仪器运行于维护程序，不要触摸适用范围以外的区域；

勿用重物撞击仪器上面的玻璃窗，在每次使用前确保其上无划痕、裂缝及损坏；

只允许使用Ethy1alcohol清洁仪器时，确保室内通风良好，关闭电源，以防着火造成人员损伤或爆炸事件发生；

吸入过量Ethy1alcohol蒸汽，可导致消化系统疾病，若不小心吞服或溅入眼中，皮肤上则导致多出运动神经紊乱，严重可失去知觉，甚至出现行动障碍。建议戴防毒面罩、口罩，防护眼镜，保护性手套及保护性靴子，可根据具体情形而定；

金属细小微粒会在静电或摩擦作用下迅速氧化燃烧，相同的道理，如果样本容器积累大量的金属细微颗粒就会引起燃烧，因此，要避免金属的沉积；

安全部分

由于内部装有高压输入端口，因此内部暴露有高伏电压，如果触摸有电击危险。不要自己打开盖子进行维修操作。（拆机，组装，修理）。

如果样本容器内沉积有过多的金属微粒，那么在仪器维修或清洁过程中，由于静电或摩擦作用，金属微粒会迅速氧化燃烧。若用占有有机溶剂如酒精的布料或纸清洁样本容器时起火，此时有机溶剂也会燃烧，容易烧伤手！

如果样本容器的内壁或玻璃窗（观察样本容器内部）的内表面留有大量蒸发的金属微粒，并且样本容器材料的自然光泽或纸来擦掉金属微粒，切忌应不要使用向酒精一类的有机溶剂。

完全清除掉金属微粒和金属光亮膏，一定不要食用酒精，再要去掉残留的由金属光亮膏留有的油分，只能在清洁工作的最后使用沾有hexane的清洁布或纸来擦拭，

如果残留有金属光亮的清洁布或纸遗留在仪器中，蒸发的金属微粒与粘在容器内的有机溶剂如酒精就会相互作用，一旦出现此情况，就会冒烟着火。

将清洁使用过的布料或纸扔进装有水的金属容器内。

打开开关一段很长时间后，样品会迅速变热，如果碰触，将会严重烧伤手部。当移开样本后，应迅速关闭电源，待10分钟或更长时间，直到样本表面冷却，才宜实验。

编号

检查对象

检查方法

保养方法

保养时间

1

样本容器上面的玻璃盖

从视觉上看粘有金属微粒，可见度下降

用粘有金属光亮膏的布或纸擦拭

任何时间

2

样本容器技术表面上有污点

由于占有金属微粒的可见斑点状污点

方法同上

在合适的时候

3

排水管损坏

由机械碰撞导致的损坏

如有损坏换一新管

使用前

4

被检查物得使用寿命

检查目标的表面

如果底部暴露，则使用寿命已到，换一个新的

在使用前

5

旋转泵中油的状况

透过测量仪玻璃表面观察油的水平高度及污染情况

查阅关于直接双油旋转泵情况现有的手册

每3到6个月