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多晶工艺学课件.pdfVIP

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  • 2024-03-29 发布于河北
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多晶工艺学课件.pdf

    第一章气体净化

    第一节常用气体及气体净化的意义

    一、气体的种类及简单性质

    在半导体工业中，常用的气体有氢气、氮气、氯气。氢气是最常用的一种气体。在自然

    界中，氢气主要以化合状态存在。它是一种无色、无味的气体。分子量为2.016,比一切元素都

    轻，比空气轻14.3倍。氢气能被金属吸收，能通过炽热的铁、铝，在240℃时能透过把，常

    温下能透过橡皮，不能透过玻璃。氢气在水中的溶

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