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无机材料热力学
无机材料热力学
非氧化物材料氧化热力学
主讲人：张锦化
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无机材料热力学
6.4非氧化物材料氧化热力学
6.4非氧化物材料氧化热力学
6.4.1SiC氧化热力学
u在大气中的氧化
气氛中O含量高时，钝化氧化（Passiveoxidation）:氧含量
2
SiC(s)+1.5O(g)SiO(s)+CO(g)较高时，在SiC氧化产物为SiO，在SiC表
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（1）面形成致密SiO膜，阻碍进一步氧化；
2
ΔGθ-946350+74.67T活化氧化（Activeoxidation）:氧含量较
气氛中O含量低时，低时，SiC氧化产物为气态SiO，会加速SiC
2
SiC(s)+O(g)SiO(g)+CO(g)（2）表面的进一步氧化；
2
ΔGθ-155230+170.25T
2
无机材料热力学
6.4非氧化物材料氧化热力学
6.4非氧化物材料氧化热力学
6.4.1SiC氧化热力学
在SiC表面形成的SiO保护膜破坏：
2
SiO(s)SiO(g)+0.5O(g)（3）
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θθ
ΔG791129-244.92T+0.5RTln(p/p)+RTln(p/p)
O2SiO
在空气中p/pθ0.21，
O2
θ
ΔG791129-244.92T+0.5RTln(0.21)+RTln(pSiO/p)
达到平衡状态时，
θ
lg(pSiO/p)-791129/T+12.4549
在大气气氛中，为保证SiC表面氧化膜不被破坏，可以在炉内放置能够产生SiO气体的材料
，比如SiO+C、SiO+SiC等。
22
3
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