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一种VCSEL芯片光功率测量装置及方法.pdfVIP

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  • 2024-03-27 发布于四川
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一种VCSEL芯片光功率测量装置及方法.pdf

    本发明公开了一种VCSEL芯片光功率测量装置及方法，属于光电子与光学测量仪器领域。该装置包括：空心支架；成像透镜，其位于空心支架前端，其通光孔径大于待测VCSEL芯片发出的光在成像透镜处形成的光斑的直径；光电探测器，其位于空心支架后端，与成像透镜平行布置，其中，光电探测器与成像透镜之间的距离大于成像透镜的焦距，使得经过成像透镜，待测VCSEL芯片成像在光电探测器处，并且光电探测器的口径大于待测VCSEL芯片成像的光斑直径。本发明采用成像透镜、光电探测器及空心支架构成的测量探头，通过成像透镜，在光

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117760552A

    (43)申请公布日2024.03.26

    (21)申请号202311794665.X

    (22)申请日2023.12.25

    (71)申请人山东芯源光电科技有限公司

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