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一种废气处理的隔热装置.pdfVIP

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  • 2024-03-27 发布于四川
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一种废气处理的隔热装置.pdf

    本实用新型涉及半导体生产技术领域，且公开了一种废气处理的隔热装置，该废气处理的隔热装置，包括：净化桶，净化桶的顶侧设置有进气管，净化桶的顶侧设置有出气管，净化桶的内部与进水管的一端固定连接，进水管的另一端贯穿水泵与散热板的底侧内部固定连接，散热板的顶部内侧与出水管的一端固定连接，出水管的另一端与净化桶的内部固定连接，净化桶的侧面与安装座的左端固定连接，该废气处理的隔热装置，在使用的时候，可以通过水泵将中和液输送到散热板中，并通过电机驱动扇叶转动，使中和液的温度降低，从而避免了长期使用之后，中和液

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220657036U

    (45)授权公告日2024.03.26

    (21)申请号202322099272.9

    (22)申请日2023.08.07

    (73)专利权人上海高笙集成电路设备有限公司

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