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- 2024-03-27 发布于四川
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本实用新型公开一种等离子体清洗装置，涉及等离子体清洗技术领域，该等离子体清洗装置包括滚筒电极和中部电极，滚筒电极能够绕其中心轴进行旋转，中部电极沿滚筒电极的轴向延伸设置，且中部电极的至少一端穿设滚筒电极以伸入滚筒电极内，中部电极的外侧壁与滚筒电极的内侧壁共同围设形成清洗腔，中部电极形成有气体腔，中部电极的外侧壁开设有连通气体腔的进气口以及连通气体腔和清洗腔的喷气口，进气口用于连通气源组件的出气端。本实用新型能够简化现有技术中等离子清洗装置的结构，并实现对单晶颗粒实现全方位的清洗。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220672508U
(45)授权公告日2024.03.26
(21)申请号202322065365.X
(22)申请日2023.08.01
(73)专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限
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