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本发明涉及等静压石墨冷却设备相关领域，具体是涉及一种半导体大硅片制造用等静压石墨加工冷却设备，包括两个冷却腔和两个内夹具层，每个内夹具层均包括外封板、外夹具以及端部顶板，每个外夹具均包括若干个异形夹具，每个异形夹具均包括短夹板和长夹板；每个冷却腔上均设置有若干组进气口，每个外封板上均设置有排气口。本发明中异形夹具上分别设有长夹板和短夹板，配合长夹板和短夹板上的尖端斜面部，能够夹紧一定尺寸范围内任意大小的石墨柱。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117760150A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202410195561.5
(22)申请日2024.02.22
(71)申请人福建福碳新材料科技有限公司
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