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本发明涉及一种集成电容角度传感器的MEMS万向节器件及其制备方法，其中，MEMS万向节器件还包括内轴电容角度传感器、外轴电容角度传感器以及垂直隔离结构；内轴差分电容角度传感器，包括一对内轴角度传感电容；外轴差分电容角度传感器，包括一对外轴角度传感电容；运动载台绕着所述内扭转轴做离面扭转时，一对内轴角度传感电容随内轴扭转角度进行彼此相反变化，运动内框绕着所述外扭转轴做离面扭转时，一对外轴角度传感电容随外轴扭转角度进行彼此相反变化；垂直隔离结构用于实现差分电容角度传感器的梳齿之间以及差分电容的电气绝
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117776085A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311803224.1
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术
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