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一种使用显微镜检查系统来映射基板上的流动对象的方法和系统，该显微镜检查系统包括光源、成像设备、台以及控制模块，该台用于移动设置在台上的基板。一种计算机分析系统，包括对象识别模块，该对象识别模块使用包括人工智能与图像处理算法的算法、网络、机器和系统针对基板上的对象中的每个识别基板上的对象位置，该基板上的对象位置包括一组X、Y和θ坐标。对象中的至少一个是流动的，并且已经从先前位置移位或从先前尺寸变形。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117784387A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202310507825.1(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569
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