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本申请属于靶材再回收利用技术领域，公开了一种ITO废靶回收再制备靶材的方法，该方法先将ITO废靶酸洗、加热蒸发、冷却、收粉，得到粉体，再将粉体与纯水混合、研磨，得到浆料一，其中粉体与纯水的质量比为0.4～0.6：1，随后向浆料一中加入粘合剂并搅拌，搅拌后得到浆料二，其中粘合剂的添加量与浆料一的质量比为2～5：100，最后将浆料二喷雾造粒、压制、烧结，得到ITO废靶回收再制备靶材，通过上述方法制备的ITO废靶回收再制备靶材在具有较低的开裂率的基础上，还具有较高的相对密度和电阻率，此外，本申请还公开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117776708A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311709072.9
(22)申请日2023.12.13
(71)申请人先导薄膜材料（广
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