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本发明公开了一种溅射薄膜微压压力传感器及其制作方法，涉及传感器技术领域，包括：敏感元件，一端开设有空腔，敏感元件的外周边缘处设置有多个凹槽，每个凹槽内分别设置有引线接线柱；外壳，套设在敏感元件的外部；可烧结玻璃粉，分别设置在空腔的端部和凹槽内；前端保护结构，与外壳的一端连接，前端保护结构上开设有通气孔；后端保护结构，与外壳的另一端连接，后端保护结构中设置有细导线，细导线与引线接线柱连接；该溅射薄膜微压压力传感器能够实现绝亚100kPa到几个MPa的压力测量，输出灵敏度可通过调节敏感区域的厚度实现
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117782406A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311836891.XC23C14/35(2006.01)
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